Mașină de aliniere a măștii de litografie de mască de aliniere
Introducerea produsului
Sursa de lumină de expunere adoptă un LED UV importat și modul de modelare a sursei de lumină, cu căldură mică și o bună stabilitate a sursei de lumină.
Structura de iluminare inversată are un efect bun de disipare a căldurii și un efect apropiat al sursei de lumină, iar înlocuirea și întreținerea lămpii de mercur sunt simple și convenabile. Echipat cu microscop cu câmp dublu binocular cu mărire ridicată și LCD cu ecran lat de 21 inch, acesta poate fi aliniat vizual prin intermediul
Eyepiece sau afișaj CCD +, cu precizie de aliniere ridicată, proces intuitiv și funcționare convenabilă.
Caracteristici
Cu funcția de procesare a fragmentelor
Nivelarea presiunii de contact asigură repetabilitatea prin senzor
Decalajul de aliniere și decalajul de expunere pot fi setate digital
Folosind computerul încorporat + funcționarea ecranului tactil, simplu și convenabil, frumos și generos
Trageți placa de tip în sus și în jos, simplă și convenabilă
Sprijinirea expunerii la contact în vid, a expunerii la contact greu, a expunerii la contact cu presiune și a expunerii la proximitate
Cu funcția de interfață nano imprint
Expunere cu un singur strat cu o cheie, un grad ridicat de automatizare
Această mașină are o fiabilitate bună și o demonstrație convenabilă, în special potrivită pentru predare, cercetare științifică și fabrici în colegii și universități
Mai multe detalii
Specificații
1. Zona de expunere: 110mm × 110mm ；
2. ★ Lungimea de undă a expunerii: 365nm;
3. Rezoluție: ≤ 1m;
4. Precizia alinierii: 0,8 m;
5. Gama de mișcare a tabelului de scanare a sistemului de aliniere trebuie să îndeplinească cel puțin: Y: 10mm;
6. Tuburile de lumină stânga și dreaptă ale sistemului de aliniere se pot deplasa separat în direcțiile X, Y și Z, direcția x: ± 5mm, direcția y: ± 5mm și z Direcție: ± 5mm;
7. Mărimea măștii: 2,5 inci, 3 inci, 4 inci, 5 inci;
8. Mărimea eșantionului: fragment, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Potrivit pentru grosimea eșantionului: 0,5-6mm și poate suporta cel mult (personalizat) bucăți de probă de 20 mm;
10. Mod de expunere: sincronizare (modul numărătoare inversă);
11. Non uniformitatea iluminatului: ＜ 2,5%;
12. Microscop de aliniere CCD cu câmp dual: lentilă zoom (de 1-5 ori) + obiectiv obiectiv al microscopului;
13. Captura de mișcare a măștii în raport cu eșantionul trebuie să îndeplinească cel puțin: x: 5mm; Y: 5mm; : 6º ；
14. ★ Densitatea energiei de expunere:> 30MW / cm2,
15. ★ Poziția de aliniere și poziția de expunere funcționează în două stații, iar cele două servo -motor ale stației comută automat;
16. Nivelarea presiunii de contact asigură repetabilitatea prin senzor;
17. ★ Decalajul de aliniere și decalajul de expunere pot fi setate digital;
18. ★ Are interfață Nano imprint și interfață de proximitate;
19. ★ Funcționarea ecranului tactil;
20. Dimensiune generală: aproximativ 1400mm (lungime) 900mm (lățime) 1500mm (înălțime).
