Mașină de litografie, aliniere măști, mașină de fotogravare
Introducerea produsului
Sursa de lumină de expunere adoptă LED-uri UV importate și modul de modelare a sursei de lumină, cu căldură redusă și stabilitate bună a sursei de lumină.
Structura de iluminare inversată are un efect bun de disipare a căldurii și un efect de apropiere a sursei de lumină, iar înlocuirea și întreținerea lămpii cu mercur sunt simple și convenabile. Echipată cu un microscop binocular cu câmp dublu și mărire mare și un ecran LCD lat de 21 de inci, aceasta poate fi aliniată vizual prin...
ocular sau afișaj CCD +, cu precizie ridicată de aliniere, proces intuitiv și operare convenabilă.
Caracteristici
Cu funcție de procesare a fragmentelor
Nivelarea presiunii de contact asigură repetabilitatea prin senzor
Distanța de aliniere și distanța de expunere pot fi setate digital
Folosind computer încorporat + operare cu ecran tactil, simplu și convenabil, frumos și generos
Placă tip tragere în sus și în jos, simplă și convenabilă
Suportă expunerea la contact în vid, expunerea la contact dur, expunerea la contact prin presiune și expunerea la proximitate
Cu funcție de interfață nano-amprentă
Expunere pe un singur strat cu o singură tastă, grad ridicat de automatizare
Această mașină are o fiabilitate bună și o demonstrație convenabilă, fiind potrivită în special pentru predare, cercetare științifică și fabrici în colegii și universități.
Mai multe detalii
Specificații
1. Zona de expunere: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Lungime de undă a expunerii: 365nm;
3. Rezoluție: ≤ 1m;
4. Precizie de aliniere: 0,8 m;
5. Intervalul de mișcare al mesei de scanare a sistemului de aliniere trebuie să respecte cel puțin: Y: 10 mm;
6. Tuburile de lumină stânga și dreapta ale sistemului de aliniere se pot mișca separat în direcțiile X, Y și Z, direcția X: ± 5 mm, direcția Y: ± 5 mm și direcția Z: ± 5 mm;
7. Dimensiunea măștii: 6,35 cm, 7,65 cm, 10,25 cm;
8. Dimensiunea eșantionului: fragment, 2", 3", 4";
9. ★ Potrivit pentru grosimi de probă: 0,5-6 mm și poate suporta piese de probă de maximum 20 mm (personalizat);
10. Mod expunere: temporizare (mod numărătoare inversă);
11. Neuniformitatea iluminării: < 2,5%;
12. Microscop de aliniere CCD cu câmp dual: obiectiv cu zoom (1-5 ori) + obiectiv pentru microscop;
13. Cursa de mișcare a măștii față de probă trebuie să fie cel puțin de: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º;
14. ★ Densitatea energiei de expunere: > 30 MW / cm2,
15. ★ Poziția de aliniere și poziția de expunere funcționează în două stații, iar servomotorul celor două stații comută automat;
16. Nivelarea presiunii de contact asigură repetabilitatea prin senzor;
17. ★ Distanța de aliniere și distanța de expunere pot fi setate digital;
18. ★ Are interfață nano amprentă și interfață de proximitate;
19. ★ Funcționare prin ecran tactil;
20. Dimensiuni totale: Aproximativ 1400 mm (lungime) 900 mm (lățime) 1500 mm (înălțime).
