Mașină de litografie Mască de aliniere a mașinii de fotogravare
Prezentarea produsului
Sursa de lumină de expunere adoptă LED-uri UV importate și modul de modelare a sursei de lumină, cu căldură mică și o bună stabilitate a sursei de lumină.
Structura de iluminare inversată are un efect bun de disipare a căldurii și un efect apropiat al sursei de lumină, iar înlocuirea și întreținerea lămpii cu mercur sunt simple și convenabile. Echipat cu microscop cu câmp dublu binocular cu mărire mare și ecran LCD cu ecran lat de 21 inchi, acesta poate fi aliniat vizual prin
ocular sau display CCD +, cu precizie ridicată de aliniere, proces intuitiv și operare convenabilă.
Caracteristici
Cu funcție de procesare a fragmentelor
Nivelarea presiunii de contact asigură repetabilitate prin senzor
Decalajul de aliniere și decalajul de expunere pot fi setate digital
Folosind computer încorporat + funcționare cu ecran tactil, simplu și convenabil, frumos și generos
Placă de tip trage în sus și în jos, simplă și convenabilă
Sprijină expunerea la contact în vid, expunerea la contact dur, expunerea la contact la presiune și expunerea la proximitate
Cu funcție de interfață nano imprimare
Expunere cu un singur strat cu o singură cheie, grad ridicat de automatizare
Această mașină are o fiabilitate bună și o demonstrație convenabilă, potrivită în special pentru predare, cercetare științifică și fabrici din colegii și universități
Mai multe detalii
Caietul de sarcini
1. Zona de expunere: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Lungime de undă de expunere: 365nm;
3. Rezoluție: ≤ 1m;
4. Precizie de aliniere: 0,8m;
5. Intervalul de mișcare al mesei de scanare a sistemului de aliniere trebuie să îndeplinească cel puțin: Y: 10 mm;
6. Tuburile de lumină stânga și dreapta ale sistemului de aliniere se pot deplasa separat în direcțiile X, y și Z, direcția X: ± 5mm, direcția Y: ± 5mm și direcția Z: ± 5mm;
7. Mărimea măștii: 2,5 inchi, 3 inci, 4 inci, 5 inci;
8. Mărimea probei: fragment, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Potrivit pentru grosimea probei: 0,5-6mm și poate suporta piese de eșantion de cel mult 20mm (personalizate);
10. Mod de expunere: sincronizare (mod numărătoare inversă);
11. Neuniformitatea luminii: ＜ 2,5%;
12. Microscop de aliniere CCD cu câmp dublu: obiectiv zoom (1-5 ori) + obiectiv pentru microscop;
13. Cursa de mișcare a măștii față de eșantion trebuie să îndeplinească cel puțin: X: 5mm; Y: 5 mm; : 6º；
14. ★ Densitatea energiei de expunere: > 30MW / cm2,
15. ★ Poziția de aliniere și poziția de expunere funcționează în două stații, iar servomotorul cu două stații comută automat;
16. Nivelarea presiunii de contact asigură repetabilitate prin senzor;
17. ★ Decalajul de aliniere și decalajul de expunere pot fi setate digital;
18. ★ Are interfață de imprimare nano și interfață de proximitate;
19. ★ Operarea ecranului tactil;
20. Dimensiune totală: Aproximativ 1400 mm (lungime) 900 mm (lățime) 1500 mm (înălțime).
